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用LIGA工艺制造微型传感器和微型机械及其测试技术研究，关于用LIGA工艺制造微型传感器和微型机械及其测试技术研究介绍这个很多人还不知道,我们一起来看看！
1、 《用LIGA工艺制造微型传感器和微型机械及其测试技术研究》是依托中国科学技术大学。
2、由李川奇担任项目负责人的面上项目。
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