fei扫描电子显微镜技术指标是什么?

FEI场发射扫描电子显微镜是一种用于材料科学领域的分析仪器，于2014年4月24日启用。二次电子分辨率 15KV时优于0.8nm，1KV时优于0.9nm;STEM模式，BF像 30KV时优于0.6nm。

fei扫描电子显微镜的主要功能有哪些?

带能量单色过滤器，超高分辨率热场发射扫描电镜，低加速电压下具有较高的分辨率，能够直接观察不导电材料的显微结构，热场发射肖特基电子枪，束流大，且稳定，电子束流连续可调。